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Description
高感度系列光阻是普通光阻,通用于5~10代線, 兼容spin和slit工藝,其具有感光速度快、殘膜率高、耐濕刻性能好、工藝窗口大等優點,適用于TFT-LCD中Array制程的所有層。
Technical Characteristics
Specification
@1.5um |
BFP-100 |
BFP-300 |
涂膠方式 |
S&S |
Slit |
~ 5G |
6 ~ 10G |
|
Viscosity |
7cP |
3.6 cP |
Properties