• 產品名稱：北京北旭電子材料有限公司-High Thermal 和4-mask PR
• 產品介紹：

  
  

  
  

  
  

  Description

   

  
  

  高耐熱系列光阻是具有優異的耐熱性能的光刻膠，其具有熱穩定性強、工藝窗口大等優點，且在Hard Bake條件下，Half-tone具有優異的均一性和Profile角度，適用于采用Hard Bake工藝的Array制程的所有層。 

  
  

  4-MASK系列光阻的特點在于具有范圍較大的half-tone工藝窗口，其具有half-tone 3σ 特性好，Hard Bake Skip條件下耐濕刻性能好的優點，適用于H/B Skip條件下采用4-MASK工藝的Array制程中的所有層。

  
  

  
  

  
  

   

  Characteristics

   

  
  

  1. Wide half tone process margin(S/B,Exp.,Dev., etc.)
  2. H/B時HighThermal Stability

  
  

   Properties

  
  

  
  

  
  

   

  @2.2um	Normal PR	High Themal 4-Mask PR
  H/T Profile	~ 20°	40~45°
  Thermal	120℃	140℃

  

  
  

• 應用領域：應用在32，43,55,65,75等TV產品，適用于TN,IPS,ADS等顯示技術

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